千级净化工程的定义是,微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。千级洁净工程主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。千级洁净工程即厂房装修级别为千级的工程。
空气洁净度 | 悬浮粒子最大允许数(个/㎥) | 微生物最大允许数 | ||
等级 | ≥0.5um | ≥5um | 浮游菌(cfu/ ㎥) | 沉降菌(cfu/皿) |
100 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
10000 | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
100000 | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
300000 | 10500000 | 60000 | — | 15 |
气流→初效空气处理→空调→中效空气处理→风机送风→净化管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃(细菌) → 回风夹道→新风、初效空气处理。重复以上过程,即可达到净化目的。
1、洁净车间必须维持一定的相对正压,不同等级的洁净车间之间的压强不小于5Pa;洁净车间与非洁净车间之间的压强以不小于10Pa,以防止低级洁净车间空气逆流到高级洁净车间;
2、温度宜保持18~26℃
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A 级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
1、温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
2、新风量大。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的最大值:
非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。
3、送风量大。为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量
1、千级净化车间的建筑通常划分为土建结构和装配式两种,其中装配式更为普遍,主要包括由初级、中级、高级空气过滤器构成的空调送回风系统、排风系统及其他配套系统。
2、千级净化车间的室内空气参数设置要求:
① 温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
② 新风量:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。
③ 送风量:要满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡。