13 防静电与接地设计
13．1 一般规定

电子工业洁净厂房中，根据电子产品生产工艺要求设防静电环境的场所主要有对静电放电敏感的电子元器件、组件、仪器和设备的制造和操作场所。操作场所包括包装、传输、测试、组装以及与这些操作相关联的活动；配置静电放电敏感的电子仪器、设备和设施的应用场所，如各类电子计算机房，各类电子仪器实验室、监控室等。在电子工厂中的一些电子产品生产、检测、试验场所有洁净环境要求，静电的存在将会影响洁净技术措施的效果。因此、洁净环境的设计亦应设定静电控制的预期目标，并按本规范的规定执行。
防静电环境设计应采用的主要技术措施，应从抑制或减少静电的产生和有效、安全地排除静电的措施着手。

13．2 防静电措施

13．2．1 本条是对防静电环境中防静电地面的规定，其主要依据是：
1 防静电地面是防静电环境控制的重点部位，防静电地面面层类型的选择，首先应满足不同的电子产品的生产工艺的要求，并进行技术经济比较后确定。一般防静电地面有导静电型活动地板、静电耗散型活动地板、贴面地板、树脂涂层地面、水磨石地面、移动式地垫等。
2 随着防静电工程技术的发展和工程实践经验，在防静电工程领域，采用表面电阻值、表面电阻率或体积电阻率等作为量纲单位，国内(如电子行业)、国外(如美国材料与试验协会、防静电协会)近年来发布的标准都使用了上述量纲单位，本规范采纳表面电阻率作为量纲单位。
本条规定的材料名称、性能指标主要依据《地板覆盖层和装配地板静电性能的试验方法》SJ／T 11159、《防静电地面施工及验收规范》SJ／T 31469，并参考国际、国内相关规范、标准，结合我国实际情况，综合考虑确定。

13．2．2 本条是对防静电环境中的吊顶和墙、柱面的防静电要求。制定的理由是：
1 在电子工业洁净厂房防静电环境中的顶棚和墙、柱面采用防静电装饰，对控制环境质量的作用主要是：抑制尘埃的带电吸附，改善环境的清洁度；抑制静电噪声的空间传导及其与电噪声的耦合，净化工作区的电场环境。故本条规定防静电环境中的吊顶和墙、柱面的装饰应按设计分级标准选择。
为确保在任何时间任何情况下静电电位不大于规定值，一、二级防静电环境的墙、柱面应设置导电层，有利于静电的可靠泄导。
2 本条规定主要依据行业标准《防静电地面施工及验收规范》SJ／T 31469、地方标准《防静电工程技术规程》DGJ 08—83，并参考国内、国外相关标准以及近年来大量大工程实践经验制定。
由于软帘的放电机理比较特殊，在静电泄放过程中会形成多次放电，参照国外标准，软帘的摩擦起电电压可适当放宽。
三级防静电工作区提出了低起电材料的应用，根据有关标准和文献的一般提法，低起电材料界定为摩擦起电电压不大于2000V，为满足三级防静电工作区的静电电位要求，用于防静电环境的材料仍不应大于1000V。

13．2．4 未经表面改性处理的高分子绝缘材料，是环境中产生静电的主要静电源，因此本条明确规定电子工业洁净厂房中的防静电环境不得使用这类材料。
由于装修饰面的平整光滑对于抑制静电的产生和积聚有积极作用，所以防静电环境不宜设计的过于复杂。

13．2．5、13．2．6 制定这两条的理由是：
1 由于净化空调系统送、回风口和风管管壁是易于产生静电的部位，因此规定了在防静电环境中的送、回风口和风管制作应采用导电材料，并应接地的要求。
2 在防静电环境的净化空调系统、各种配管系统中使用部分绝缘性材质、导电性橡胶软管时，应采取相应的导电措施，以泄放可能产生的静电，并采取可靠接地的措施。

13．2．7 由于在一些电子产品生产过程中不断地产生和积聚静电，虽然在防静电环境中采取了上述各项防静电设计技术措施，但仍不能达到某些电子产品生产对防静电的严格要求或在某些局部仍然会形成超过规定的静电电位。实践表明，应用离子化静电消除器等装置，消除、中和局部表面或空气中的电荷，是行之有效的方式。离子化静电消除器种类繁多，其作用原理、产品形式、消除静电效能、环境要求均差异很大。按空气离子化原理分，有同位素放射型、交流型、稳定直流型、脉冲直流型等型式。还可按结构形式分，有台座式离子风机、管式离子风嘴、箱柜式离子风机、离子风枪和静电离子棒。按适用场所分，有机内层流罩式、洁净室式、空调房间式、工作台面式和压缩气体式。按组合布置分，有针、细棒、网格(隔栅)、发射体和离子风等。防静电技术措施应根据不同场所、不同产品生产工艺要求，综合使用不同形式的离子化消电手段，以达到较好的消电效能。

13．3 防静电接地

13．3．1 导静电泄放至大地是消除静电的一种主要方法。为了保证静电迅速、安全、有效地泄放，洁净区域金属物体、导静电材料均应做可靠接地。

13．3．4 在电子工业洁净厂房中，有多种可燃、有毒的气体、液体或粉体输送、储存设备、管道，这些介质的设备、管道也是容易产生静电危害的场所。所以，对这些介质的设备、管道应采取可靠的安全的导静电泄放至大地的接地措施，以保证一旦产生静电能够迅速、有效、安全地泄放。有爆炸和火灾危险的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。