11 化学品供应
11．1 一般规定

11．1．1 电子工业洁净厂房常常需使用各种化学品，根据电子产品品种及其生产工艺的不同，各种电子产品生产所使用的化学品是不相同的，其中以集成电路芯片制造过程、TFT—LCD生产过程所需的化学品品种多，有的纯度要求严格，表25是这两种电子产品生产用洁净厂房内所用的主要化学品种类。表26是有关资料提出的集成电路芯片64M生产过程部分化学品的质量要求。

11．1．2 电子工业洁净厂房所用化学品如表25所列品种较多，它们的分类、储存应符合现行国家标准《常用危险化学品的分类及标志》GB 13690、《常用危险化学品贮存通则》GB 15603等的相关规定。危险化学品按主要危险特性分为8类，即第1类爆炸品，第2类压缩气体和液化气体，第3类易燃液体，第4类易燃固体、自燃物品和遇湿易燃物品，第5类氧化剂和有机氧化物，第6类有毒品，第7类放射性物品，第8类腐蚀品。
由于各类化学品的性质不同，因此常用化学危险品应分区、分类、分库储存，并不得与禁忌物料混合储存。储存化学危险品的建筑物不得有地下室或其他地下建筑，其耐火等级、层数、占地面积、安全疏散和防火间距，应符合国家有关规定。

11．2 化学品储存、输送

11．2．1 制定本条的依据和参考材料如下：
1 现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016—2006第3．3．9条的规定。
2 现行国家标准《石油化工企业设计防火规范》GB 50160—92(1999年版)第5．9．1条。
3 美国消防协会发布的NFPA 318《洁净室消防标准》的有关规定。第5．1．1条，危险化学品的储存和分配间应以耐火极限为1.0h的构造物与洁净室分隔。第5．1．3条，洁净室中应把危险化学品控制在使用和维护需要的限值。第5．1．4条，危险化学品的储存和分配间应设有下列机械排风装置：(1)机械排风最低流量为1m3／s·m2地板面积；(2)排风和入口处的开口应防止气体的积聚；(3)机械排风系统应与自动应急电源相连。

11．2．2 制定本条的依据和参考资料如下：
1 美国消防协会发布的NFPA 318《洁净室消防标准》的有关规定。第5．3. 2条，危险化学品不应在出入口走廊内分配和存放。第5．3．3条，运输和装载危险化学品的小车应为完全封闭型。用于运输化学品的小车的容量不应超过208L，最大单个容器的容量为19L。第5．3．4条，不相容的危险化学品，不得用同一装载危险化学品的小车同时运输。
2 据了解，目前国内一些使用危险化学品的电子工业洁净厂房内，为确保桶装危险化学品运输过程的安全，均采用液压升降装置，在运输危险化学品的通道或走廊，均设有自动灭火装置，一旦发生火情，及时进行救援。对于运送有机溶剂部位，应采用二氧化碳灭火系统或泡沫灭火系统，其余采用自动喷水灭火系统。

11．2．3 本条规定是根据国内一些电子工业洁净厂房使用危险化学品的储存、输送系统的调查分析资料和参考NFPA 318《洁净室消防标准》的相关条文制定的。
1 电子工业洁净厂房中的危险化学品采用管道输送时，一般采用气泵增压输送，增压气体采用氮气。
2 在危险化学品的管道输送系统的压力储罐后的分配和使用设备处均应设手动切断阀，以便及时进行切断操作。
3 NFPA 318《洁净室消防标准》第5．2节中的相关规定：“采用加压系统时，系统中所用各种材料都应与所输送的化学品物化性能具有相容性”，“压力罐设有自动减压通风口，若火灾时，可排气至安全的位置”，“使用点设手动切断阀”、“加压只能用惰性气体”等。

11．2．5 制定本条规定的主要依据如下：
1 根据对一些电子工业洁净厂房内设有危险化学品储存、分配间的调查表明，储存化学品的储罐一般设置在底层半地下间，位于化学品供应系统的最低处，在各类液体储罐之间设有隔堤或保护堤。保护堤是用于储罐泄漏或检修用围堰，防止液体化学品外溢；隔堤是用于甲、乙类液体或液体相互接触能引起化学反应的储罐之间的分隔。隔堤、防护堤的高度约500mm。危险化学品储存、分配间一般均设有液体泄漏报警装置、紧急洗眼器、淋浴器。
2 在现行国家标准《石油化工企业设计防火规范》GB 50160中，对于甲、乙类液体设置防火堤、隔堤制定了有关规定。
3 NFPA 318《洁净室消防标准》第5．1．2条规定：洁净厂房内的危险化学品储存和分配间应设二次抑制化学品溢出的设施。

11．3 管材、阀门

11．3．1 电子工业洁净厂房所需化学品的品质较多，包括具有可燃性、氧化性、腐蚀性的各种酸碱、有机溶剂等，为确保化学品的输送质量、安全运行和使用寿命，输送化学品的管道材质应根据管内流过化学品的物理化学性质进行选择，如酸碱类输送管道材质，通常采用聚四氟乙烯管，并以透明PVC管做保护套管，避免输送管道被腐蚀和预防酸碱液泄漏时造成人身(设备)受伤(受损)。为防止各类化学品，特别是一些高纯化学品在输送过程中被污染或因管道材质选用不当，引发不应发生的化学反应，影响化学品质量，所以输送化学品管道的材质应选用化学稳定性良好和相容性好的材料，如：输送有机溶剂类化学品管道材质，通常采用管内壁抛光的低碳不锈钢管(SUS316L EP／BA)等。本条为强制性条文。

11．3．2 据调查了解，在电子工业洁净厂房中，为防止有腐蚀性的酸碱类管道泄漏，殃及操作人员或生产设备，各类腐蚀性的酸碱类管道均采用带套管的聚四氟乙烯管(PFA管)，外套管为透明的PVC管等。
在美国消防协会颁布的NFPA 318《洁净室消防标准》中，有一条例外的说明：“易燃液体的加压输送系统容许用非金属管道输送，但必须设置于熔点高于1093℃(2000°F)的金属制造的外壳中”。
鉴于上述情况，作了本条规定。

11．3．3 对一些使用多种化学品的管道供应系统的国内电子工业洁净厂房的调查和相关的技术资料介绍表明，为确保化学品供应输送系统的安全和有利于连接多台生产设备共用一条管路系统，一般在液体化学品供应系统中设有化学品供应分配阀箱(Valve Manifold Box，简称VMB，如图9所示)。故作本规定。