9 纯水供应

9．1 一般规定

9．1．1 电子产品生产用纯水系统的选择，应根据原水水质和产品生产工艺对水质的要求，并结合系统规模、材料及设备供应等情况，经技术经济比较确定。

9．1．2 纯水的输送干管应敷设在技术夹层或技术夹道内；洁净室(区)内的纯水支管宜暗装。

9．1．3 穿越洁净室(区)墙壁、楼板、顶棚的纯水管道应设套管，套管与管道之间应采取密封措施。

9．1．4 洁净室(区)内纯水管道的保温材料，不得产生污染物，外表面应平整、光滑、易于清洁。

9．2 纯水系统

9．2．1 纯水系统的设备配置除应满足所需水量和水质的要求外，还应满足运行灵活、安全可靠、便于操作管理、运行费用低等要求。

9．2．2 纯水的制备、储存和输送设备，应符合电子产品生产工艺的要求，并应符合下列规定：
1 纯水的制备、终端处理设备的选型和制造材料的选择，应满足供水水质、终端水质的要求；
2 纯水储罐、输送设备的选型和制造材料的选择，应确保水质污染少、密封性好，不得有渗气现象；
3 纯水制备、储存、输送设备应有效地防止水质降低。

9．2．3 纯水系统应采用循环供水方式，宜采用单管式循环供水系统或设有独立回水管的双管式循环供水系统，并应符合下列规定：
1 循环回流水量应大于设计供水量的30％；
2 干管流速应大于等于1．5m／s；
3 不循环支管的长度不应大于管径的6倍；
4 干管应设置清洗口；
5 管道系统必须密封，不得有渗气现象；
6 应配备在线水质检测仪表；
7 对纯水水质要求严格的电子产品生产工艺，应采用双管式循环供水系统。

9．2．4 纯水系统中与纯水直接接触的设备表面应光洁、平整、化学性质稳定、耐腐蚀、易清洗、易消毒。

9．2．5 用于纯水系统的水质检测设备、量具、仪表，其连接不应使纯水水质降低，其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求。

9．2．6 纯水精处理或终端处理装置宜靠近用水生产设备设置。

9．3 管材、阀门和附件

9．3．1 纯水系统管道材质的选用，应符合下列要求：
1 应满足纯水水质指标的要求；
2 材料的化学稳定性应好；
3 管道内壁光洁度应好；
4 不得有渗气现象。

9．3．2 纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定：
1 应选择与管道相同的材质；
2 应选用密封好、结构合理、无渗气现象的阀门；
3 对纯水的水质要求严格的产品生产工艺用纯水系统，应采用隔膜阀。