光学微电子洁净工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音震动及照明、静电操控在某一需求范围内，而所给于特别规划之密闭空间。

　　光学微电子净化工程亦名无尘室或洁净室，现在已是半导体、精密制作、液晶制作、光学制作、线路板制作和生物化学、医药、食物制作等职业不可或缺的重要设备，近几年来，由于技术之创新开展，关于产品的高精密度化、细小型化之需求更为火急。　

  　光学微电子净化工程一般包含：

　　1、 洁净生产区

　　2、 洁净辅佐间(包含人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)

　　3、 办理区(包含工作、值班、办理和休息等)

　　4、 设备区(包含净化空调体系应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

　　光学微电子净化工程净化原理

　　气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌

　　等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上进程，即可到达净化意图。

　　光学微电子净化工程净化参数

　　换气次数：100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa

　　均匀风速：10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬天>16℃;夏季 <26℃;动摇±2℃。

　　温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免发生静电。

　　噪声≤65dB(A);新风弥补量是总送风量的10%-30%;照度300LX。

　　光学微电子净化工程结构资料

　　1. 净化厂房墙、顶板材一般多选用50mm厚的夹芯彩钢板制作，其特色为漂亮、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般选用专用氧化铝型材制作。

　　2.地上可选用环氧自流坪地坪或高档耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。

　　3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温作用好的阻燃型PF发泡塑胶板。

　　4.高效送风口用不锈钢结构，漂亮清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。

　　光学微电子净化工程解决计划:

　　净化工程的规划进程中，应加强对光学微电子职业净化工程规划计划剖析了解,依据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其详细的生产工艺、生产流程等要求确定其需求的洁净度、温湿度。再依据该工程的详细情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，归纳各种因素来确定选用何种净化计划，这样才可规划出一个能满意甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的计划。

　　1、组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口

　　这是一个最传统的净化空调体系的规划计划。组合式空气处理机组里含有各种功用段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中心段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。

　　长处：

　　A.空气处理作用好，因空气通过会集处理，在送风进程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的操控比较准确;

　　B.比较适用于有会集冷源的或是较大的厂房;

　　C.空调冷热源可与厂房普通空调体系合用或独立冷热源;

　　D.修理频率较低;

　　E.车间的噪音低。

　　缺陷：

　　A.需求有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另需求有放置组合式空气处理机组的空调机房，如25000m3/h的组合式空气处理机组，常用外形尺寸为6450×1850×2250mm左右。关于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个20-30m的机房的;

　　B.造价高。

　　特色：

　　A.主张新风通过会集处理后再与回风混合，这样能够减少表冷段的冷处理负担;

　　C.这类计划一般能够适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。

　　2、光学微电子职业净化工程规划计划剖析之水冷柜机+增压风柜+高效送风口

　　与前种计划比较，这是相对比较简单的空调计划。它能够大大地缩小机房的面积，水冷柜机能够依据详细的情况安置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也能够安置于机房内或吊在机房内或在夹层内。

　　长处：

　　A.空气处理作用较好的，处理往后的空气在送风进程中被污染程度低。送风的温度、湿度操控作用能够到达较好的操控。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行操控;

　　B.安置灵敏。自带冷源;

　　C.巨细厂房、新旧厂房都适用;

　　D.修理频率较低;

　　E.车间噪音低。

　　缺陷：

　　A.需求小面积的机房。需求有冷却塔、冷却水泵的摆放位置;

　　B.空调机组与空调处理机组要会集安置;

　　C.造价较低。特色：这种计划能够是一次回风也能够是二次回风，详细依据车间的巨细情况而定;这类计划一般能够适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

　　3、光学微电子职业净化工程规划计划剖析之分体空调柜机++FFU送风口

　　这是最简易的一个空调计划。是直接将分体空调柜机安置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀安置于吊顶天花。这个计划适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

　　长处：

　　A.不需求占用机房面积，安置很灵敏的;

　　B.能够满意空气的洁净度;

　　C.造价最低。如此类无尘车间初出资约需求40万;

　　D.送风均匀度好。

　　缺陷：

　　A.温湿度操控较差;

　　B.能够满意空气的洁净度;

　　C.FFU的修理频率高。

　　4、光学微电子职业净化工程规划计划剖析之无尘车间的特色

　　A、无尘车间的洁净度:

　　LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。

　　在本规划里是指结尾工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、拼装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。

　　B、室内空气参数要求 ：

　　(1)温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。

　　(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，能够依据以下数值应取下列的最大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和坚持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。

　　(3)送风量大。为了满意洁净室内的洁净度及热湿平衡，需求较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。

　　光学微电子职业净化工程规划计划剖析关于惯例电子厂房洁净室空调的规划，应依据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调规划计划，以满意生产工艺的要求作为条件。依据以往经历，关于要求高的能够选用组合式空气处理机组会集处理的空调计划;关于要求不高的，又要初出资低的，能够选用柜机+FFU。总归，详细的计划选择依据详细情况而定。