中华人民共和国国家标准

电子工业洁净厂房设计规范

GB 50472-2008

条文说明

1 总 则

本规范是电子工业洁净厂房设计的国家标准，适用于各种类型电子产品生产用新建、扩建和改建的洁净厂房设计。由于各类电子工业洁净厂房内所生产的电子产品及其生产工艺各不相同，它们对生产环境包括空气环境和直接与产品生产过程接触的各类介质都有一定的要求。近年来以微电子产品为代表的高新技术发展迅速，微电子产品生产过程对生产环境要求十分严格，对生产过程所需高纯物质——高纯气体、高纯水、各类化学品的纯度及其杂质含量要求更为严格，对微振控制、噪声控制和防静电控制也有严格的要求。因此本规范根据电子工业洁净厂房的特点制定工程设计中应该遵循的相关规定，确保工程设计做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源，满足电子产品生产工艺的需求。